我是h1

EN

服务电话

0755-86375012

关注我们

Copyright © 2019 深圳瑞丰恒激光技术有限公司版权所有 粤ICP备09209499号

>
>
>
超低噪声紫外绿光激光器,半导体晶圆检测的好帮手

超低噪声紫外绿光激光器,半导体晶圆检测的好帮手

发布时间:
2021/04/14
浏览量
超低噪声紫外绿光激光器,半导体晶圆检测的好帮手
 
晶圆是制作集成电路(IC)最基础的半导体材料,晶圆的质量直接决定IC成品的质量好坏。由于工艺水平不同,晶圆可能会在生产阶段产生冗余物、晶体缺陷和机械损伤三种缺陷。因此,高效准确的检测设备,是提供高可靠性晶圆材料的保证。
 
 
 
Laser Quantum axiom 激光器系统,半导体晶圆检测的理想设备
 
 
由于检测效率低下,半导体晶圆制造工艺经常产生不必要的材料和时间浪费。当激光噪声用作晶圆检测的测量方法时,可以实现精确的计量工艺。但是,某些激光特性的变化可能会错误地标识晶圆上的错误,从而导致误报的产生,因此,会导致可避免的废品率增加,最终浪费材料和处理时间。
 
 
通过利用具有长期功率稳定性的超低噪声激光器,可以在很大程度上消除这一问题,该激光器专为此类要求苛刻的24/7检测应用而设计。
 
 
 
 
计算机采集和分析显示浸润测试数据
 
 
在高端计量应用中,测量特征尺寸是半导体工艺监测中的关键指标。执行此测量的有效方法是使用激光器作为探针在整个晶圆基片上快速扫描激光线。随后测量反射信号,与样品相互作用的激光噪声可指示特征尺寸。激光噪声越低,准确表征这些特征测量值的精度就越高。
 
 
低噪声激光是如何产生的?
 
 
通过在激光器的中心设计一个特定的低噪声腔,并与专门为支持低噪声而设计的机载电子控制子系统协同工作,可以在很大程度上实现低噪声规格。每个LaserQuantum系统均具有基于SANOFF滤波技术并获得专利的低噪声腔。SANOFF是一种选择性模式剥离功能,旨在减少激光模式竞争,从而产生超低噪声规格。
 
 
 
 
通过在铜基板上化学气相沉积产生的具有双层岛的单层石墨烯的 高光谱拉曼图像。蒙特利尔大学化学系 Richard Marte 教授通过 Photon etc 公司的拉曼成像技术,获得了该数据图像
 
 
电子子系统采用一系列进一步的降噪功能,这些功能与优化的腔体设计相结合,以提供高水平的信号纯度和一致性。其中一项是实时反馈功能,使用超快光电二极管对激光束信号进行实时监控。然后,该信号中存在的任何残留噪声都会在泵浦二极管处进行实时补偿,从而在残留噪声峰值到达样品之前就可以有效地消除它们。此功能与光学设计一起,可以形成超低噪声激光器,无论周围环境如何,它都能主动、智能地保持超低噪声水平。
 
 
 
显示半导体晶圆检测的设置
 
 
功率稳定性
 
 
激光器的高水平和长期功率稳定性也是此应用中的关键因素,集成式实时功率反馈是系统可靠性和一致性的前提。所有LaserQuantum激光器均采用先进的功能管理架构设计,旨在将功率的微小波动反馈给控制器,从而使功率稳定性保持恒定。定制此反馈回路自动化的能力使OEM厂商能够从PID设置中执行微调,以便在最苛刻的应用中精确管理死区问题。
 
 
可靠性
 
 
作为关键任务应用中的主要功能,激光器系统必须能够提供可靠的一致性。作为嵌入式OEM系统的制造商,LaserQuantum出产的每个系统都旨在作为标配提供这项关键任务性能。制造的每台激光器都经过严格的300小时测试方案,可模拟各种苛刻的性能环境,包括温度循环和振动测试等。LaserQuantum的设计理念之一是,其所有激光器系统均在更高的功率循环条件下进行测试,以确保在必要时可以提供附加功率,并确保长期稳定的性能。
 
 
LaserQuantumaxiom激光器系统具有本应用白皮书中描述的所有技术,使其非常适合要求功率稳定、低噪声和稳定性能的最苛刻应用。
 
 
延伸阅读
 
 
●LaserQuantumaxiom激光器系列
 
 
axiom系列激光器采用全新架构,可提供连续波功率,其激光头可集成当前的所有光源。这种设计模式让该系列产品易于集成到设备中,省去了泵浦光的光纤传输的复杂性。axiom系列激光器提供了业内领先的红光激光器(660nm/6W),出色的噪声表现和稳定性;绿光激光器则表现出极低的噪声。这两台激光器都搭载了紧凑型电源的小型激光系统,是拉曼成像、粒子像速度、红色荧光成像、钛蓝宝石泵浦和显微镜绿光的理想选择。Axiom系列的两种型号(532nm、660nm)都具有集成的水冷通道。
 
 
axiom532除了用于半导体检测、光学捕获和粒子图像测速外,还十分适合作为钛蓝宝石泵浦源。凭借小于2µrad/℃的光束指向稳定性,小于0.03%的典型噪声值和小于0.1%的典型功率稳定性,axiom系列激光器能传送出令人满意的高质量光束。低噪声、低温控制是钛蓝宝石泵浦源的关键属性,泵浦激光的噪声可直接转化成钛蓝宝石激光器的噪声。
 
 
●拉曼显微高光谱成像系统
 
 
由Photonetc开发的全球高光谱拉曼成像仪提供了一种独特的解决方案,用于对大面积(最大1mmx1mm及更大)的高级材料进行光谱和空间表征。通过将从拉曼光谱指纹获得的丰富信息与全局高光谱成像的速度结合,高光谱拉曼成像仪扩展了样品分析的范围,是一种强大的材料非侵入性成像方式(RIMA™NANO)。
 
 
与传统的点成像拉曼系统不同,Photonetc高光谱拉曼成像仪采用了面成像技术,将激光扩束后,用特殊的光学元件将扩束后的高斯分布的激光整形成均匀分布的平顶激光,照射在样品上,滤除反射的激光后,所有激发的拉曼光和再通过可调滤波器为主的高光谱成像组件,成像在ccd上,可在几分钟内完成,以相元为单位,可以形成高达十万组拉曼光谱数据。